摘要：一种用于硅片清洗的混合型超声波清洗剂，涉及硅材料加工技术领域，由以下重量份的原料制成：丙醇52～54份、苯酚10～20份、胶体粒子5～7份、氯化亚锡6～8份、抗坏血酸6～8份、乙酸钠2～4份、腐植酸钠2～4份、三聚磷酸钠3～5份、六偏磷酸钠2～4份、表面活性剂5～7份、拉丝粉6～8份、滑石粉3～5份、去离子水260～270份。本发明的有益效果是：本发明制备方法简单，配方合理，制备的清洗剂，配合超声波清洗技术，能高效去除附着硅片上的各种污垢，同时清洗剂为中性温和型，有效的呵护硅片表壁不受损伤，使用效果良好，不会对硅片造成腐蚀，无残留，无污染，清洗效果显著，原料易得，成本低下。
